JED-2300/2300F 能譜儀是以“圖像觀察和分析“ 為基本理念的TEM/EDS集成系統(tǒng)，通過與SEM的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺聯(lián)動(dòng)使用，可以進(jìn)行大范圍的觀察和分析。EDS通過檢測被電子束激發(fā)出的樣品的特征X射線，確定樣品含有的元素及成分比，可以進(jìn)行微區(qū)的點(diǎn)分析、線分析及面分析。

JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列

JED-2300/2300F 能譜儀可以在SEM圖像上分析位置，開始EDS分析。

VID

將采集的X射線譜圖和Visual PeakID（VID）合成的譜圖進(jìn)行比較，定性結(jié)果可以通過視覺、數(shù)值判斷

Play Back

Play Back (回放) 功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖，不僅保存了每一幀中各個(gè)像素點(diǎn)的譜圖，還對每一幀中電子束形成的圖像進(jìn)行了存儲(chǔ)。利用Play back功能，可以進(jìn)行多角度的分析如觀測譜圖等隨時(shí)間的變化等。測試后數(shù)據(jù)能夠回放，可以觀察到樣品按時(shí)間順序發(fā)生的變化，這是至今為止無法實(shí)現(xiàn)的。此外，利用Play Back功能還可以截取任意的畫面。

Smile Station™ 2

Smile Station™2功能通過在多個(gè)視野上自動(dòng)進(jìn)行分析，生成SEM和元素面分布圖的無縫蒙太奇圖像，也可以在取得的視野上進(jìn)行連續(xù)的元素面分布和點(diǎn)分析等。

Dry SD 檢測器

Dry SD 檢測器（SDD檢測器）與傳統(tǒng)的EDS檢測器不同，不需要液氮制冷。使用快速簡單，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高計(jì)數(shù)率處理。